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四川精密光刻機(jī)

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鑫南光小編為大家介紹四川精密光刻機(jī)產(chǎn)品介紹:

四川精密光刻機(jī)

一、主要用途:

本設(shè)備可對(duì)晶片、陶瓷片、玻璃片(圓片或方片)進(jìn)行一次性曝光,特別適用于對(duì)聲表面波器件、光柵、分劃板、可控硅等的曝光,二極管、三極管、分立元件的**次光刻。

二、主要技術(shù)參數(shù) :

1.適用于對(duì)Φ4″以下只需一次曝光的各種基片進(jìn)行曝光,基片厚度要求0~5mm。

2.光源采用200W直流汞燈,曝光頭光束不均勻性≤±6%(Φ100mm范圍以內(nèi))。

3.采用時(shí)間繼電器(可調(diào)節(jié))控制曝光頭的快門。

4.具有兩個(gè)真空密著承片臺(tái)(一個(gè)在曝光時(shí),另一個(gè)可進(jìn)行上下片的操作),根據(jù)用戶需求,我公司可制作圓形或方形真空密著承片臺(tái)。

希望以上關(guān)于四川精密光刻機(jī)的信息請(qǐng)持續(xù)關(guān)注鑫南光官網(wǎng)信息更新。

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