97超碰在线免费观看|国产无码免费在线播放|日本午夜精品理论片A级app发布|亚洲中文字幕制服丝袜电影

歡迎訪問成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司官方網(wǎng)站!

成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司

二十年專業(yè)品質(zhì) 通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證

立即咨詢

24小時(shí)咨詢熱線:
13908187709
產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置 當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 光刻機(jī)

G-25D4型高精密單面光刻機(jī)

一、主要用途:本設(shè)備是我公司專門針對(duì)各大專院校及科研單位對(duì)光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機(jī),它 主要用于中小規(guī)模集成電路…

相關(guān)內(nèi)容
在線留言
詳情內(nèi)容
content details



G-25D4型高精密光刻機(jī)




設(shè)備概述:

本設(shè)備是我公司專門針對(duì)各大專院校及科研單位對(duì)光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機(jī),它 主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

主要構(gòu)成
主要由高精度對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、LED曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)和附件箱等組成。


LED曝光頭及部件圖

三點(diǎn)找平機(jī)構(gòu) 高精度X、Y、Z、Q 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)



主要功能特點(diǎn)


1.適用范圍廣
適用于Φ100mm以下,厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對(duì)準(zhǔn)曝光。
2.結(jié)構(gòu)**
具有氣浮式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu);具有真空掩膜版架、真空片吸盤。
3.操作簡(jiǎn)便
采用翻板方式取片、放片;按鈕、按鍵方式操作,可實(shí)現(xiàn)真空吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理 都非常簡(jiǎn)便。
4.可靠性高
采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時(shí)器;采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件,使本機(jī)具有非常高的可靠性。

5.特設(shè)功能
除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外,還可以為用戶定制專用承片臺(tái),來解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對(duì)準(zhǔn)的問題。


主要技術(shù)指標(biāo):

1、曝光類型:?jiǎn)蚊?;配?/span>4"LED專用曝光頭

2、曝光面積:110×110mm;

3、曝光照度不均勻性:≤±3%;

4、曝光強(qiáng)度:0~30mw/cm2可調(diào);

5、紫外光束角:≤3°;

6、紫外光中心波長(zhǎng):365nm;

7、紫外光源壽命:≥2萬(wàn)小時(shí);

8、采用電子快門;

9、曝光分辨率:1μm

10、顯微鏡掃描范圍:X: ±15mm   Y:±15mm;

11、對(duì)準(zhǔn)范圍:X、Y 調(diào)節(jié) ±4mm;Q向調(diào)節(jié)±3°;

12、套刻精度:1μm;

13、分離量;0~50μm可調(diào);

14、曝光方式:接觸式曝光,可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

15、找平方式:氣浮找平;

16、掩模版尺寸:≤127×127mm;

17、基片尺寸:≤Φ102mm(或者102×102mm);

18、基片厚度:≤5 mm;

19、曝光定時(shí):0~999.9秒可調(diào);







【全文完】

標(biāo)簽:

在線留言

LEAVE A MESSAGE

鑫南光咨詢服務(wù)熱線:
13908187709

立即在線咨詢預(yù)約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業(yè)港雙流園區(qū)渤海路36號(hào)(3座)
版權(quán)所有:

成都鑫南光機(jī)械設(shè)備有限公司

備案號(hào):蜀ICP備12015633號(hào)-3

網(wǎng)站地圖 RSS XML  
聯(lián)系人:劉經(jīng)理 電話:028-85730589     技術(shù)支持:  萬(wàn)家燈火  
  全國(guó)服務(wù)熱線:15390063681  郵箱:x.n.g@163.com
97超碰在线免费观看|国产无码免费在线播放|日本午夜精品理论片A级app发布|亚洲中文字幕制服丝袜电影