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G-25D6型高精密單面光刻機(jī)?

一、主要用途:本設(shè)備是我公司專門針對各大專院校及科研單位對光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機(jī),它 主要用于中小規(guī)模集成電路…

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G-25D6型高精密單面光刻機(jī)



一、主要用途:

本設(shè)備是我公司專門針對各大專院校及科研單位對光刻機(jī)的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機(jī),它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

LED曝光頭及部件圖



三點(diǎn)找平機(jī)構(gòu)高精度X、Y、Z、Q 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)



二、主要技術(shù)指標(biāo):

1、曝光類型:單面;

2、曝光面積:150×150mm;

3、曝光照度不均勻性: 150×150mm范圍內(nèi)≤±3%;

不均勻性用紫外檢測計(jì)測量(UV-A型紫外輻照計(jì))

E.大 - E.小

U = ±────────×....

E.大 + E.小

測量5點(diǎn)(如右圖)

4、曝光強(qiáng)度:≤30mw/cm2可調(diào);

5、紫外光束角:≤3?;

6、紫外光中心波長:365nm;

7、紫外光源壽命:≥2萬小時(shí);

8、采用電子快門;

9、曝光分辨率:2μm;

10、曝光模式:可選擇一次曝光或套刻曝光;

11、對準(zhǔn)范圍:X、Y 調(diào)節(jié) ±5mm;Q向調(diào)節(jié)±3°;

12、套刻精度:2μm;

13、分離量;0~50μm可調(diào);

14、曝光方式:密著曝光,可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

15、找平方式:氣浮找平;

16、顯微系統(tǒng):雙視場CCD系統(tǒng),顯微鏡91X~570X連續(xù)變倍(物鏡1.6X~10X連續(xù)變倍),雙物鏡距離可調(diào)范圍50mm~120mm,計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng),19″液晶監(jiān)視器;

17、掩模版尺寸: 7″×7″英寸;

18、基片尺寸:Φ6″一件;

19、基片厚度:≤5 mm;

因基片的厚度不同,制作承片臺(tái)時(shí)需要進(jìn)行分級(jí)處理,單獨(dú)設(shè)計(jì)制作,1mm為一個(gè)等級(jí)(基片厚度:0-5mm可分為五個(gè)等級(jí):0-1mm,1-2mm,2-3mm,3-4mm,4-5mm)其中:我公司隨機(jī)配送厚度為0-1mm等級(jí)的承片臺(tái),若用戶還需其余等級(jí)承片臺(tái)(訂貨時(shí)用戶須說明,費(fèi)用另議)。

20、曝光定時(shí):0~999.9秒可調(diào);

21、電源:單相AC220V  50HZ ,功耗≤1.5KW;

22、潔凈空氣壓力:≥0.4MPa;

23、真空度:-0.07MPa~-0.09MPa;

24.設(shè)備所需能源:

主機(jī)電源: 220V±10%   50HZ,1.5KW。

潔凈空氣≥0.4MPα。

真空:-0.07~-0.08MPα。

25.G-26D型高精密光刻機(jī)的組成:

由LED紫外曝光頭、CCD顯微顯示系統(tǒng)、對準(zhǔn)工作臺(tái)、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。


【全文完】

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